Incorporating iodine into polypeptoid chemically-amplified resists for improved EUV sensitivity

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标题	Incorporating iodine into polypeptoid chemically-amplified resists for improved EUV sensitivity
网址	https://doi.org/10.1117/12.3012454
DOI	10.1117/12.3012454 doi
其它	期刊：Advances in Patterning Materials and Processes XLI 作者：Cameron P. Adams; Chenyun Yuan; Qi Zhang; Oleg Kostko; Christopher K. Ober; et al 出版日期：2024
求助人	1878 在 2026-04-29 19:47:29 发布自甘肃，悬赏 20 积分
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