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标题
Analysis of laser-induced damage effects on lithographic illumination pupil-fill characteristics
网址
https://opg.optica.org/viewmedia.cfm?URI=ao-65-9-2932&seq=0
DOI
10.1364/ao.583753 doi
其它 期刊：Applied Optics
作者：Shuman Yang; Yuejing Qi; Zhiyuan Shen; Jing Ma; Wei Qi; et al
出版日期：2026-02-25
求助人
ghpi 在 2026-08-28 15:30:05 发布自四川，悬赏 10 积分
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  • 3小时前

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