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Triple/quadruple patterning layout decomposition via linear programming and iterative rounding
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网址
http://dx.doi.org/10.1117/1.jmm.16.2.023507
DOI
10.1117/1.jmm.16.2.023507 doi
其它 期刊：Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS
作者：Yibo Lin; Xiaoqing Xu; Bei Yu; Ross Baldick; David Z. Pan
出版日期：2017-06-14
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