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标题
Characterization of SiO2 Over Poly-Si Mask Etching in Ar/C4F8 Capacitively Coupled Plasma
网址
http://dx.doi.org/10.5757/asct.2021.30.6.176
DOI
10.5757/asct.2021.30.6.176 doi
其它 期刊：Applied Science and Convergence Technology
作者：In Ho Seong; Jang Jae Lee; Chul Hee Cho; Yeong Seok Lee; Si Jun Kim; et al
出版日期：2021-11-30
求助人
M40 在 2026-09-19 22:40:59 发布自北京，悬赏 10 积分
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    22:41:03 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
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  • 8小时前

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