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 Piezoelectric MEMS based acoustic sensors: A review 相关领域
微电子机械系统
压电
声学
表征（材料科学）
灵敏度（控制系统）
可靠性（半导体）
PMUT公司
制作
材料科学
压电传感器
计算机科学
电子工程
工程类
光电子学
物理
纳米技术
医学
功率（物理）
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病理
量子力学
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期刊：Sensors and Actuators A-physical 作者：Washim Reza Ali; Mahanth Prasad 出版日期：2019-12-12 |
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