MEMS-based piezoresistive and capacitive microphones: A review on materials and methods

已完结

文献求助详情

标题	MEMS-based piezoresistive and capacitive microphones: A review on materials and methods
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2023.107879
DOI	10.1016/j.mssp.2023.107879 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Ashish Kumar; Arathy Varghese; Dheeraj Kalra; Anshuman Raunak; Jaiverdhan; et al 出版日期：2024
求助人	刘冲在 2026-06-21 23:36:38 发布自英国，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。

上个求助

下个求助

American Association for the Advancement of Science (AAAS)

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

不忘初心，牢记使命，为科研工作者服务

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 大模型的应助被jin采纳，获得20

4秒前; LIZHEN完成签到，获得积分10

11秒前; Copyright上传了应助文件

11秒前; Kao上传了应助文件

14秒前; 科研通AI6.2的应助被积极的老鼠采纳，获得10

20秒前; 科研通AI6.2上传了应助文件

27秒前; 科研通AI6.1的应助被WH采纳，获得10

30秒前; 积极的老鼠发布了新的文献求助10

36秒前; 科研通AI6.1上传了应助文件

42秒前; WH发布了新的文献求助10

47秒前; 无花果的应助被Jodie采纳，获得10

1分钟前; 碗在水中央完成签到，获得积分10

1分钟前; 乐乐上传了应助文件

1分钟前; junhao发布了新的文献求助10

1分钟前; 对对对完成签到，获得积分10

1分钟前; rtmatrix完成签到，获得积分10

1分钟前; 科研通AI6.3上传了应助文件

1分钟前; 无花果上传了应助文件

1分钟前; Kao上传了应助文件

2分钟前; Jodie发布了新的文献求助10

2分钟前; uuuu发布了新的文献求助10

2分钟前; 我是老大的应助被uuuu采纳，获得10

2分钟前; 墨绾菩提的应助被sxmt123456789采纳，获得10

2分钟前; allen7u发布了新的文献求助10

2分钟前; YZChen完成签到，获得积分10

2分钟前; 可爱的函函的应助被着急的向雁采纳，获得10

2分钟前; 科研通AI6.1的应助被Jodie采纳，获得10

3分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

3分钟前; allen7u完成签到，获得积分10

3分钟前; 田様的应助被和谐的誉采纳，获得30

3分钟前; 科研通AI6.1上传了应助文件

3分钟前; Jodie发布了新的文献求助10

3分钟前; Kao上传了应助文件

3分钟前; 赘婿的应助被Jodie采纳，获得30

3分钟前; ZYD完成签到，获得积分10

3分钟前; 科研通AI6.4上传了应助文件

3分钟前; 好德小饼干发布了新的文献求助10

4分钟前; 田様上传了应助文件

4分钟前; 和谐的誉发布了新的文献求助30

4分钟前; 和谐的誉完成签到，获得积分10

4分钟前