Characterization of CNT pellicles in an EUV scanner environment and strategies to extend pellicle durability

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标题	Characterization of CNT pellicles in an EUV scanner environment and strategies to extend pellicle durability
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.3076026
DOI	10.1117/12.3076026 doi
其它	期刊：International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2025 作者：Márcio Dias Lima; Hooman Rahmani; Takumi Furuya; Sergey Li; Toshiro Itani; et al 出版日期：2025-11-06
求助人	pancake 在 2026-08-14 14:38:37 发布自河南，悬赏 20 积分
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