Optimization of chemical mechanical polishing of (010) β-Ga2O3

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标题	Optimization of chemical mechanical polishing of (010) β-Ga2O3
网址	http://dx.doi.org/10.1116/6.0002241
DOI	10.1116/6.0002241 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A 作者：Michael E. Liao; Kenny Huynh; Lezli Matto; Dorian P. Luccioni; Mark S. Goorsky 出版日期：2023-01-01
求助人	xiaolu 在 2026-06-30 14:05:23 发布自福建，悬赏 10 积分
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