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Development of the point diffraction interferometer for extreme ultraviolet lithography: Design, fabrication, and evaluation
网址
https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-pdf/20/6/2449/10998728/...
DOI
10.1116/1.1526605 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena
作者：K. Otaki; K. Ota; I. Nishiyama; T. Yamamoto; Y. Fukuda; et al
出版日期：2002-12-13
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Ethereal 在 2026-08-26 16:39:17 发布自江苏，悬赏 10 积分
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