Effect of intrinsic point defects on copper precipitation in large-diameter Czochralski silicon

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标题	Effect of intrinsic point defects on copper precipitation in large-diameter Czochralski silicon
网址	https://pubs.aip.org/aip/apl/article-pdf/83/15/3048/18582838...
DOI	10.1063/1.1617377 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Z. Xi; Deren Yang; Jin Xu; Y. Ji; D. Que; et al 出版日期：2003-10-07
求助人	liuqx011 在 2026-08-11 11:10:28 发布自四川，悬赏 10 积分
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