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标题
Remote plasma etching of silicon nitride and silicon dioxide using NF3/O2 gas mixtures
利用NF3/O2气体混合物远程等离子体刻蚀氮化硅和二氧化硅
相关领域
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网址
http://dx.doi.org/10.1116/1.581309
DOI
10.1116/1.581309 doi
求助人
飞天小李警 在 2025-12-03 11:36:02 发布自上海，悬赏 10 积分
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