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Multilayer film passivation for enhanced reliability of power semiconductor devices 相关领域
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者:Roberta Busca; Davide Cimmino; Sergio Ferrero; Luciano Scaltrito; Candido Fabrizio Pirri; et al 出版日期:2020-02-11 |
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