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标题
The features of surface charging on rectangle mask holes in plasma etching
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网址
https://doi.org/10.1063/5.0118581
DOI
10.1063/5.0118581 doi
其它 期刊：Physics of Plasmas
作者：Peng Zhang; Dengmei Li
出版日期：2022-10-01
求助人
StevenZhao 在 2026-01-08 17:12:06 发布自湖北，悬赏 10 积分
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