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Resonant Accelerometers Based on Nanomechanical Piezoresistive Transduction 相关领域
压阻效应
加速度计
微电子机械系统
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期刊: 作者:Théo Miani; Thierry Verdot; A. Berthelot; Federico Maspero; Alexandra Koumela; et al 出版日期:2021-01-25 |
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