A Pressure Sensor Based on Soi Achieved Accurate Pressure Measurement Within the Range of 20 to 300° C After Temperature Compensation

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标题	A Pressure Sensor Based on Soi Achieved Accurate Pressure Measurement Within the Range of 20 to 300° C After Temperature Compensation
网址	https://doi.org/10.1109/SENSORS59705.2025.11330311
DOI	10.1109/SENSORS59705.2025.11330311 doi
其它	期刊：2025 IEEE SENSORS 作者：Yuanying Zhang; Binghe Ma; Fengyun Liu; Jinjun Deng; Xingxu Zhang; et al 出版日期：2025
求助人	无奈冥在 2026-01-20 13:27:32 发布自福建，悬赏 10 积分
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