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Characterization of magnesium channeled implantation layers in GaN(0001) GaN(0001)中镁沟道注入层的表征
相关领域
离子注入
透射电子显微镜
材料科学
光致发光
外延
镓
分析化学(期刊)
光电子学
离子
化学
纳米技术
图层(电子)
冶金
色谱法
有机化学
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期刊:Japanese Journal of Applied Physics 作者:Atsushi Suyama; H. Kawanowa; Hideaki Minagawa; Junko Maekawa; Shinji Nagamachi; et al 出版日期:2023-02-06 |
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