| 标题 |
Electrical properties of low-temperature SiO2 thin films prepared by plasma-enhanced atomic layer deposition with different plasma times 相关领域
原子层沉积
X射线光电子能谱
薄膜
等离子体
分析化学(期刊)
材料科学
电介质
化学计量学
沉积(地质)
硅
氢
图层(电子)
化学
光电子学
纳米技术
化学工程
环境化学
工程类
物理
古生物学
生物
有机化学
量子力学
沉积物
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊:AIP Advances 作者:Taehyeon Kim; Changyong Oh; So Hee Park; Joo Won Lee; Sang Ik Lee; et al 出版日期:2021-11-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成,仅限求助人下载。 |
|
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|