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Spin-on Deposition of Amorphous Zeolitic imidazolate Framework (aZIF) Films for Lithography Applications
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网址
DOI
10.21203/rs.3.rs-6092786/v1 doi
其它 期刊:Research Square - Research Square
作者:Michael Tsapatsis; Yurun Miao; Shusen Zheng; Kayley E. Waltz; Mueed Ahmad; et al
出版日期:2025-04-01
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