Coatings with barrier layers for extreme‐short wavelengths

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标题	Coatings with barrier layers for extreme‐short wavelengths 相关领域极紫外光刻光学平版印刷术材料科学进程窗口光电子学波长光学涂层极端紫外线纳米技术薄膜物理激光器
网址	https://doi.org/10.1002/vipr.202100766
DOI	10.1002/vipr.202100766 doi
其它	期刊：Vakuum in Forschung und Praxis 作者：Sergiy Yulin; Marcus Trost; Stefan Schwinde; Sven Schröder 出版日期：2021-10-01
求助人	Rita 在 2025-10-08 21:19:51 发布自浙江，悬赏 10 积分
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