Silicon Metalens Fabrication from Electron Beam to UV-Nanoimprint Lithography

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标题	Silicon Metalens Fabrication from Electron Beam to UV-Nanoimprint Lithography 从电子束到紫外纳米压印光刻的硅金属透镜制造相关领域纳米压印光刻材料科学电子束光刻下一代光刻抵抗平版印刷术 X射线光刻光电子学硅光学制作蚀刻（微加工）深反应离子刻蚀反应离子刻蚀纳米技术图层（电子）医学替代医学物理病理
网址	https://www.mdpi.com/2079-4991/11/9/2329/pdf?version=1631613...
DOI	10.3390/nano11092329 doi
其它	期刊：Nanomaterials 作者：Angela Baracu; Andrei Avram; C. Breazu; Mihaela-Cristina Bunea; Marcela Socol; et al 出版日期：2021-09-07
求助人	amor 在 2025-08-29 12:23:24 发布自四川，悬赏 10 积分
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