CMOS-compatible photonic integrated circuits on thin-film ScAlN

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标题	CMOS-compatible photonic integrated circuits on thin-film ScAlN 相关领域 CMOS芯片电子线路光子学光电子学材料科学集成电路光子集成电路计算机科学电子工程电气工程工程类
网址	https://arxiv.org/pdf/2403.14212
DOI	10.1063/5.0208517 doi
其它	期刊：arXiv (Cornell University) 作者：Sihao Wang; Veerendra Dhyani; S. Mohanraj; Xiaodong Shi; Binni Varghese; et al 出版日期：2024-03-21
求助人	奈义武在 2025-10-31 18:50:26 发布自湖北，悬赏 10 积分
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