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Designing high k dielectric films with LiPON–Al2O3 hybrid structure by atomic layer deposition
原子层沉积法制备LiPON-Al2O3杂化结构高k介质薄膜
相关领域
电介质 材料科学 原子层沉积 高-κ电介质 电容器 光电子学 极化（电化学） 电解质 栅极电介质 薄膜 晶体管 纳米技术 电压 电气工程 电极 化学 工程类 物理化学
网址
https://doi.org/10.1088/1674-1056/ac3736
DOI
10.1088/1674-1056/ac3736 doi
其它 期刊：Chinese Physics B
作者：Ze Feng; Yitong Wang; Jilong Hao; Meiyi Jing; Feng Lu; et al
出版日期：2021-11-06
求助人
Irene 在 2025-08-04 12:36:48 发布，悬赏 10 积分
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