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 Study on Dry Etching of iCVD‐Grown pV3D3 Dielectric Polymer Film iCVD生长pV3D3介电聚合物薄膜的干法刻蚀研究
相关领域
材料科学
反应离子刻蚀
干法蚀刻
蚀刻（微加工）
电介质
化学气相沉积
光电子学
纳米技术
聚合物
图层（电子）
复合材料
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期刊：Small Methods 作者：Jueun Baek; Yu‐Kyung Kim; Jeong‐Hoon Oh; Junghyun Park; Kwang Hyeon Baik; et al 出版日期：2025-06-23 |
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