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Demonstration of Large MW and Prominent Endurance in a Hf0.5Zr0.5O2 FeFET with IGZO Channel Utilizing Postdeposition Annealing 利用沉积后退火在具有IGZO沟道的Hf0.5Zr 0.5 O2 FeFET中证明大MW和突出的耐久性
相关领域
退火(玻璃)
材料科学
光电子学
电气工程
砷化镓
硅
频道(广播)
工程物理
电子工程
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冶金
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期刊:IEEE Electron Device Letters 作者:Xu Pan; Pengfei Jiang; Yang Yang; Tiancheng Gong; Wei Wei; et al 出版日期:2024-01-01 |
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