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 Picometre and nanoradian heterodyne interferometry and its application in dilatometry and surface metrology 皮米和纳半径外差干涉测量及其在膨胀测量和表面测量中的应用
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期刊：Measurement Science and Technology 作者：Thilo Schuldt; Martin Gohlke; Harald Kögel; Ruven Spannagel; Achim Peters; et al 出版日期：2012-03-22 |
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