UV Stability of Aluminum Oxide Fabricated with Tube‐Type Plasma‐Enhanced Atomic Layer Deposition

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标题	UV Stability of Aluminum Oxide Fabricated with Tube‐Type Plasma‐Enhanced Atomic Layer Deposition 相关领域原子层沉积氧化铝图层（电子）铝等离子体材料科学沉积（地质）管（容器）氧化铝氧化物化学工程纳米技术复合材料冶金物理地质学古生物学工程类量子力学沉积物
网址	https://doi.org/10.1002/solr.202500510
DOI	10.1002/solr.202500510 doi
其它	期刊：Solar RRL 作者：Christina Hollemann; Byungsul Min; V.X. Nguyen; Thomas Pernau; Daniela Seiffert; et al 出版日期：2025-08-27
求助人	altango 在 2025-09-25 13:43:12 发布自江苏，悬赏 10 积分
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