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标题
Optimization of TiN/TiOxNy Laminated Electrode Films for High-Performance Gene Sequencing Chip
高性能基因测序芯片TiN/TiOxNy叠层电极膜的优化
相关领域
材料科学 电极 薄膜 锡 电容 溅射沉积 电阻率和电导率 分析化学（期刊） 溅射 纳米技术 冶金 化学 电气工程 工程类 物理化学 色谱法
网址
https://doi.org/10.1149/1945-7111/ad3a17
AI链接 iop.orgdoi.org
DOI
10.1149/1945-7111/ad3a17 doi
其它 期刊：Journal of The Electrochemical Society
作者：Jinqi Li; Jin Xu; Jinming Gao; Mengxiao Wang; Dayu Zhou
出版日期：2024-04-01
求助人
大安吉 在 2025-07-02 09:03:47 发布，悬赏 10 积分
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