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![]() 用于193-nm光致抗蚀剂的聚(叔丁基-3 α-(5-降冰片烯-2-羰基氧基)-7 α,12 α-二羟基-5 β-胆烷-24-酸酯-共-马来酸酐)
相关领域
马来酸酐
光刻胶
高分子化学
降冰片烯
材料科学
双环戊二烯
复合材料
聚合
聚合物
共聚物
图层(电子)
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其它 |
期刊:Polymer 作者:Jin-Baek Kim; Bum-Wook Lee; Jae-Sung Kang; Dong-Chul Seo; Chi-Hyung Roh 出版日期:1999-12-01 |
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