Free-standing spectral purity filters for extreme ultraviolet lithography

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标题	Free-standing spectral purity filters for extreme ultraviolet lithography 用于极紫外光刻的独立式光谱纯度滤光片相关领域极紫外光刻材料科学平版印刷术极端紫外线制作紫外线光学光电子学钨光刻激光器冶金医学物理病理替代医学
网址	https://doi.org/10.1117/1.jmm.11.2.021115
DOI	10.1117/1.jmm.11.2.021115 doi
其它	期刊：Journal of Micro/Nanolithography MEMS and MOEMS 作者：Н. И. Чхало; М. Н. Дроздов; Evgeny B. Kluenkov; A. Ya. Lopatin; В. И. Лучин; et al 出版日期：2012-05-31
求助人	daoketuo 在 2025-06-09 18:50:27 发布自甘肃，悬赏 20 积分
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