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标题
Barriers Against Copper Diffusion into Silicon and Drift Through Silicon Dioxide
防止铜扩散到硅中和漂移通过二氧化硅的势垒
相关领域
材料科学 电迁移 电介质 扩散 扩散阻挡层 导电体 互连 压力(语言学) 电阻率和电导率 光电子学 半导体 复合材料 工程物理 图层(电子) 冶金 电气工程 热力学 工程类 哲学 物理 语言学 计算机科学 计算机网络
网址
DOI
10.1557/s0883769400047710 doi
其它 期刊:MRS Bulletin
作者:Shi‐Qing Wang
出版日期:1994-08-01
求助人
SONG 在 2025-03-31 16:02:59 发布自山东,悬赏 10 积分
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