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 Improving phase stability, hardness, and corrosion resistance of magnetron sputtered CuCrFeMnTi films by nitrogen addition 添加氮提高磁控溅射CuCrFeMnTi薄膜的相稳定性、硬度和耐腐蚀性
相关领域
腐蚀
材料科学
腔磁控管
氮气
相（物质）
冶金
溅射沉积
化学
溅射
薄膜
纳米技术
有机化学
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| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Vacuum 作者：P.H. Liu; Chunyu Ma; Jianfeng Gao; J.R. Li; Fen Qin; et al 出版日期：2025-04-01 |
| 求助人 | |
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