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TCAD-Enabled Machine Learning—An Efficient Framework to Build Highly Accurate and Reliable Models for Semiconductor Technology Development and Fabrication
TCAD支持的机器学习——为半导体技术开发和制造建立高度精确和可靠模型的有效框架
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期刊:IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者:Paul Jungmann; Jeffrey B. Johnson; Eduardo C. Silva; William Taylor; Abdul Hanan Khan; et al 出版日期:2023-05-01 |
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