PLAD (Plasma Doping) for p-type Deep Trench Doping in Power Device Applications

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标题	PLAD (Plasma Doping) for p-type Deep Trench Doping in Power Device Applications
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/8794648/8807892/08807935...
DOI	10.1109/iit.2018.8807935 doi
其它	期刊：International Conference on Innovations in Information Technology 作者：D. Raj; G. Grivna; G. Loechelt; Qi Gao 出版日期：2018-09-01
求助人	kudward 在 2026-10-21 13:31:34 发布，悬赏 10 积分
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