Consistency and reproducibility in atomic layer deposition

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标题	Consistency and reproducibility in atomic layer deposition
网址	http://dx.doi.org/10.1116/1.5140603
DOI	10.1116/1.5140603 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者：Henrik H. Sønsteby; Angel Yanguas-Gil; Jeffrey W. Elam 出版日期：2020-02-06
求助人	学术疯子在 2026-10-10 10:47:13 发布自广东，悬赏 10 积分
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