Curvilinear mask metrology: toward standardizing contour-based metrics for EUV mask qualification

已完结

文献求助详情

标题	Curvilinear mask metrology: toward standardizing contour-based metrics for EUV mask qualification
网址	https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of...
DOI	10.1117/12.3120156 doi
其它	期刊：Photomask Japan 作者：B. Baskaran; J. Bekaert; K. Miyaguchi; Soobin Hwang; D. Trivkovic; et al 出版日期：2026-09-23
求助人	喜悦的捕在 2026-11-02 14:51:23 发布自北京，悬赏 20 积分
下载	求助已完成，仅限求助人或该文件上传人下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让源源不断科研创作灵感的涌现之地

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 耿鑫发布了新的文献求助10

1秒前; 山石发布了新的文献求助10

2秒前; 初景发布了新的文献求助10

2秒前; null上传了应助文件

5秒前; ding上传了应助文件

5秒前; WY完成签到，获得积分10

5秒前; 结实的易真完成签到，获得积分10

10秒前; 坦率的邑完成签到，获得积分10

10秒前; gtgyh发布了新的文献求助10

11秒前; 嘻嘻哈哈上传了应助文件

12秒前; 耿鑫完成签到，获得积分10

14秒前; 先生先生你怎么了的应助被yy采纳，获得10

15秒前; ding的应助被闪闪婴采纳，获得10

18秒前; Renaissance完成签到，获得积分10

22秒前; 嘻嘻哈哈上传了应助文件

23秒前; window1000发布了新的文献求助10

24秒前; 李金龙完成签到，获得积分10

24秒前; 深情安青上传了应助文件

26秒前; 司空三问完成签到，获得积分10

27秒前; 科研通AI6.2的应助被llmmyy采纳，获得10

31秒前; 感动赛君发布了新的文献求助10

31秒前; 嘻嘻哈哈上传了应助文件

32秒前; 如意嫣完成签到，获得积分10

35秒前; 小蘑菇上传了应助文件

35秒前; 挚友发布了新的文献求助10

41秒前; 看不了一点文献的应助被幽默的初雪采纳，获得20

45秒前; 小蘑菇的应助被冷艳又菱采纳，获得10

45秒前; 科研通AI6.4的应助被感动赛君采纳，获得10

45秒前; 白芷完成签到，获得积分10

45秒前; 嘻嘻哈哈上传了应助文件

46秒前; mlp完成签到，获得积分10

51秒前; wuhao完成签到，获得积分10

51秒前; nanana发布了新的文献求助10

52秒前; 科研通AI6.2的应助被陌黎采纳，获得30

52秒前; 嘻嘻哈哈上传了应助文件

55秒前; 科研通AI6.2上传了应助文件

57秒前; 科研通AI6.2的应助被超帅的舒克采纳，获得30

57秒前; liu完成签到，获得积分20

58秒前; 独特的紫雪完成签到，获得积分10

59秒前; 科研通AI6.2上传了应助文件

59秒前