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Atomic layer deposition of ZrO2 using a novel high-temperature precursor, (nPrCp)Zr(NMe2)3 |
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A 作者:Laura Keränen; Wonyong Koh; Marko Vehkamäki; Kenichiro Mizohata; Matti Putkonen; et al 出版日期:2026-07-08 |
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(2025-6-4)