A Resonant MEMS Accelerometer With 56ng Bias Stability and 98ng/Hz1/2 Noise Floor

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标题	A Resonant MEMS Accelerometer With 56ng Bias Stability and 98ng/Hz1/2 Noise Floor 相关领域加速度计噪音（视频）微电子机械系统理论（学习稳定性）物理声学计算机科学光电子学人工智能量子力学图像（数学）机器学习
网址	https://doi.org/10.1109/jmems.2019.2908931
DOI	10.1109/jmems.2019.2908931 doi
其它	期刊：Journal of microelectromechanical systems 作者：Chun Zhao; Milind Pandit; Guillermo Sobreviela; Philipp Steinmann; Arif Mustafazade; et al 出版日期：2019-06-01
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International Society for Optics and Photonics (SPIE)

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