A wireless-feeding capacitive electrode mechanism for achieving massive nanosecond parallel-discharge EDM for large-size wafer flattening - 科研通

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标题	A wireless-feeding capacitive electrode mechanism for achieving massive nanosecond parallel-discharge EDM for large-size wafer flattening 一种实现大尺寸晶圆展平大规模纳秒平行放电电火花加工的无线馈电电容电极机构相关领域材料科学压扁电容感应纳秒电极薄脆饼光电子学机制（生物学）纳米技术复合材料电气工程光学工程类物理化学哲学化学物理认识论激光器
网址	https://doi.org/10.1016/j.jmapro.2024.07.108
DOI	10.1016/j.jmapro.2024.07.108 doi
其它	期刊：Journal of Manufacturing Processes 作者：Junming Guan; Hongqiang Wang; Masanori Kunieda; Yonghua Zhao 出版日期：2024-07-31
求助人	TianYue778 在 2025-12-06 14:29:37 发布自福建，悬赏 10 积分
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