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 A wireless-feeding capacitive electrode mechanism for achieving massive nanosecond parallel-discharge EDM for large-size wafer flattening 一种实现大尺寸晶圆展平大规模纳秒平行放电电火花加工的无线馈电电容电极机构
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期刊：Journal of Manufacturing Processes 作者：Junming Guan; Hongqiang Wang; Masanori Kunieda; Yonghua Zhao 出版日期：2024-07-31 |
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