A wireless-feeding capacitive electrode mechanism for achieving massive nanosecond parallel-discharge EDM for large-size wafer flattening

材料科学 压扁 电容感应 纳秒 电极 薄脆饼 光电子学 机制(生物学) 纳米技术 复合材料 电气工程 光学 工程类 物理化学 哲学 化学 物理 认识论 激光器
作者
Junming Guan,Hongqiang Wang,Masanori Kunieda,Yonghua Zhao
出处
期刊:Journal of Manufacturing Processes [Elsevier]
卷期号:126: 230-244
标识
DOI:10.1016/j.jmapro.2024.07.108

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