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Effects of Heater and Insulation Ring Designs on Oxygen Content of Large-Diameter Silicon Grown by Czochralski Method 加热器和绝缘环设计对直拉法生长大直径硅氧含量的影响
相关领域
材料科学
戒指(化学)
硅
氧气
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期刊:Silicon 作者:Zilong Xiao; Xiaohan Wan; Wenhui Ma; Shicong Yang 出版日期:2025-04-02 |
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