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Effects of Heater and Insulation Ring Designs on Oxygen Content of Large-Diameter Silicon Grown by Czochralski Method

材料科学戒指（化学）硅氧气复合材料法律工程学光电子学有机化学工程类化学

作者

Zilong Xiao,Xiaohan Wan,Wenhui Ma,Shicong Yang

出处

期刊：Silicon [Springer Science+Business Media]
日期：2025-04-02 卷期号：17 (7): 1747-1756 被引量：1

标识

DOI：10.1007/s12633-025-03310-x

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