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 High electro-mechanical coupling coefficient SAW device with ScAlN on diamond 金刚石上有ScAlN的高机电耦合系数SAW装置
相关领域
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Kohei Hatashita; Toshiki Tsuchiya; Masaya Okazaki; Marin Nakano; Ayu Anggraini; et al 出版日期：2023-01-25 |
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