Development of TiO2containing hardmasks through PEALD deposition

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标题	Development of TiO2containing hardmasks through PEALD deposition
网址	https://doi.org/10.1117/12.2258380
DOI	10.1117/12.2258380 doi
其它	期刊：Advances in Patterning Materials and Processes XXXIV 作者：Christoph K. Hohle; Roel Gronheid; Anuja De Silva; Indira Seshadri; Kisup Chung; et al 出版日期：2017
求助人	还单身的绮梅在 2026-01-19 19:53:26 发布自上海，悬赏 20 积分
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