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标题
An automatic multi-precursor flow-type atomic layer deposition system
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网址
https://doi.org/10.1063/5.0222271
AI链接 nih.gov osti.govdoi.org
DOI
10.1063/5.0222271 doi
其它 期刊：Review of Scientific Instruments
作者：Daniel J. Rodriguez; M.-G. Her; Igor Usov; D. J. Safarik; Rommel Jones; et al
出版日期：2024-11-01
求助人
安详的凝竹 在 2026-01-06 17:39:20 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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