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Nanosmoothing of single crystal diamond chips by 1 keV Ar+ ion bombardment 相关领域
钻石
离子
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena 作者:Takashi Nagase; Hiroyuki Kato; S. A. Pahlovy; Iwao Miyamoto 出版日期:2010-04-02 |
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