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 Stabilization of the tetragonal phase in ZrO2 thin films according to ozone concentration using atomic layer deposition 相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Seokhwi Song; E.K. Kim; Kyunghoo Kim; Jangho Bae; Jinho Lee; et al 出版日期：2023-10-09 |
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