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Development of a-C:H coatings doped with trimethylsilyl acetate prepared using plasma enhanced chemical vapor deposition 相关领域
化学气相沉积
重氮甲烷
兴奋剂
等离子体增强化学气相沉积
等离子体
化学工程
材料科学
薄膜
等离子体处理
化学
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光电子学
工程类
物理
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期刊:Diamond and Related Materials 作者:Štěpánka Kelarová; Richard Václavik; Roman Přibyl; Monika Stupavská; Vilma Buršı́ková 出版日期:2024-05-27 |
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