Development of a-C:H coatings doped with trimethylsilyl acetate prepared using plasma enhanced chemical vapor deposition

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作者
Štěpánka Kelarová,Richard Václavik,Roman Přibyl,Monika Stupavská,Vilma Buršı́ková
出处
期刊:Diamond and Related Materials [Elsevier BV]
卷期号:147: 111233-111233 被引量:1
标识
DOI:10.1016/j.diamond.2024.111233

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