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  Chemical Structure, Optical and Dielectric Properties of PECVD SiCN Films Obtained from Novel Precursor 新型前驱体PECVD SiCN薄膜的化学结构、光学和介电性能
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期刊：Coatings 作者：Е. N. Ermakova; K. P. Mogilnikov; Igor Asanov; А. Д. Федоренко; Irina V. Yushina; et al 出版日期：2022-11-18 |
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