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 Preparation of Ceria-Coated Silica Nanoparticles and Their Chemical Mechanical Planarization Performance on Si-Face 6H-SiC Substrates 相关领域
材料科学
化学机械平面化
化学工程
纳米颗粒
无定形固体
硝酸铈
涂层
复合数
复合材料
铈
图层（电子）
纳米技术
结晶学
冶金
工程类
化学
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期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Zifeng Ni; Guomei Chen; Laijun Xu; Ping Zhang; Mengjiao Dai; et al 出版日期：2021-12-01 |
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